该副基准装置采用一种基于非蒸散型吸气剂的选择性抽气方法，消除了真空容器内表面放气效应的影响，在国际上首次解决了静态膨胀法校准下限延伸的难题，抽气系统采用双分子泵串联抽空，前级为机械泵，外加非蒸散型吸气剂泵，极限真空达到10-9 Pa。

外围(1×10-4～1×102)Pa真空副基准装置复现的是真空度，其单位为Pa，属于具有专有名称的导出单位。真空计量是实施真空量值准确、可靠传递及真空环境下的测试。