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“特鲁斯特从废料堆中拯救了晶圆步进机。在第二次世界大战后的几十年里，如果说有谁是飞利浦的代表人物，那非他莫属，”畅销科技书籍《光刻巨人：ASML崛起之路》曾如是描述。

优发中国中新网6月12日电 综合外媒报道，当地时间11日晚，荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)在社交平台发文，悼念其创始人之一维姆・特鲁斯特(WimTroost)离世。

特鲁斯特正是飞利浦晶圆步进机的开发人员，也是在飞利浦管理团队会议上唯一一个表示对光刻机研究有兴趣的人。1984年，飞利浦和ASM成立合资企业阿斯麦。1987年，当时摇摇欲坠的阿斯麦群龙无首，刚从飞利浦退休两年的特鲁斯特决定出任阿斯麦的CEO，他带领ASML度过了1988年的危机，直至1990年再次退休。

据报道，阿斯麦在社交平台上发布悼文称，“我们的创始人之一维姆・特鲁斯特去世了。在1987年至1990年期间，他担任首席执行官，当时阿斯麦正在努力争取第一个客户。退休后，特鲁斯特仍然是阿斯麦和高科技产业的真正大使。他激励了后世的许多人。我们感谢特鲁斯特为阿斯麦强大的公司文化所做的贡献，以及他的领导能力、毅力和远见。我们向特鲁斯特的家人表示哀悼。”

在此背景下，飞利浦开始研发自己的晶圆步进机，用于对硅晶圆进行图案化。自1978年起，飞利浦科学与工业 (S&I) 部门以 PAS2000 (飞利浦自动晶圆步进机)的名义推动了商业化工作。

20世纪70年代末和80年代初，半导体制造技术的规模和复杂性的快速增长，推动了这一行业价值链的分工，专业设备供应商对于开发复杂的光刻系统变得尤为重要。